同惠TH1991高精度源表簡介:
TH1991/TH1992系列精密源/測量電源,可同時輸出并測量電壓
和電流,在儀器中集成了電流源、電壓源、電壓表、電流表功能,
各功能可任意切換。
TH1991/TH1992系列精密源/測量單元可輸出高達±210V直流電
壓、±3A直流電流以及±10.5A脈沖電流、*小10fA/100nV的電源
和測量分辨率,支持高速采樣,可生成任意波形。
TH1991/TH1992系列精密源/測量單元系列采用了7英寸電容式觸
摸屏,以Linux操作系統為底層,交互式圖形用戶界面及各種顯示
模式,并內置了二極管、三極管、MOS管以及IGBT等器件的I/V曲
線掃描功能,無需連接上位機即可完成IV功能測試,可顯著提高測
試效率。
TH1991/TH1992系列精密源/測量單元全 面、綜合的電源和測量功
能,是測試半導體、有源/無源器件以及各種其他器件與材料的理
想選擇。
TH1991/TH1992系列精密源/測量單元廣泛應用在研發和教育應
用、工業開發、測試和制造業等領域。
同惠TH1991高精度源表特點:
■ 通道數:1
■ 高達±210V直流電壓、±3A直流電流/±10.5A脈沖
■ 10fA/100nV*小輸出及測量分辨率(6 1/2位)
■ 7英寸電容式觸摸屏,分辨率800×480
■ Linux操作系統
■ 四象限精密電源輸出
■ 電壓源、電流源、電壓表、電流表或電阻表五種基本模式
■ 支持直流、脈沖、掃描及列表輸出
■ 二極管、三極管、MOS管以及IGBT快速生成常用器件的特性曲線,時域波形滾動顯示功能
■ 兼具二線制測量/四線制測量
■ 輸出濾波器時間常數(或截止頻率)可自由設置以實現任意頻響輸出
■ 數學 運算功能、滑動平均濾波功能、偏差扣除功能
■ Delta低電阻測試方法,有效補償由熱電動勢引起的測量誤差
■ 14檔分選功能,含Grading和Sorting兩種模式。
■ TH199X系列高達1000000點/秒采樣率,*小采樣間隔1μs
■ TH199X系列脈沖輸出的脈寬*小可達50μs
■ TH199X系列任意波形生成及列表掃描功能(*小1μs間隔)
TH199X系列高精度源表規格選型表:
型號
|
通道數
|
有效設置和測量值
|
*小分辨率
|
*大電流
|
*大電壓
|
源
|
測量
|
TH1991C
|
1
|
1pA,1uV
|
100fA,100nV
|
DC:±1.515A 脈沖:無
|
±63V
|
TH1991B
|
100fA,1uV
|
10fA,100nV
|
DC:±3.03A脈沖:無
|
±210V
|
TH1991A
|
1pA,1uV
|
100fA,100nV
|
DC:±3.03脈沖:±10.5V
|
TH1991
|
10fA,100nV
|
10fA,100nV
|
TH1992B
|
|
100fA,1uV
|
10fA,100nV
|
TH1992A
|
2
|
1pA,1uV
|
100fA,100nV
|
TH1992
|
10fA,100nA
|
10fA,100nV
|
量程
|
編程解析度
|
精度(增益誤差(讀數的%)+偏移誤差)
|
噪聲(峰峰值)0.1Hz至 10Hza
|
*大電壓
(超過量程)
|
TH1991C
|
TH1991B
TH1992B
|
TH1991A
TH1992A
|
TH1991
TH1992
|
±200mV
|
1uV
|
1uV
|
0.1uV
|
±(0.015%+225uV)
|
≤10uV
|
±210mV
|
±2V
|
10uV
|
10uV
|
1uV
|
±(0.02%+350uV)
|
≤20uV
|
±2.1V
|
±20V
|
100uV
|
100uV
|
10uV
|
±(0.015%+5mV)
|
≤200uV
|
±21V
|
±200Vb
|
—
|
1mV
|
1mV
|
100uV
|
±(0.015%+50mV)
|
≤2mV
|
±210V
|
※注意:上標 a:補充特征
-
電壓限值/合規性:精度與電壓源相同。*小值是量程的 1%或 200mV 量程中的 20mV。
-
超過量程:源量程的 105%。
-
電壓輸出穩定時間(在開路負載條件下,達到*終值的 0.1%范圍所需的時間):步長為 10%至 90%量程。l 200mV 和 2V 量程:<50us,20V 量程:<110us,l 200V 量程:<700us
-
噪聲 10Hz 至 20MHz(V 源):50mVrms,20V 量程
-
V 源過沖:<±(0.1%+10mV)步長大小是 10%至 90%量程, 電阻負載。
-
電壓源量程更改過沖:≤250mV,100kΩ負載,20MHz 帶寬。
上標 b:±200V 不適用于 TH1991C。
量程
|
編程解析度
|
精度(增益誤差(讀數的%)+偏移誤差)
|
噪聲(峰峰 值)0.1Hz至 10Hza
|
*大電流
(超過量程)
|
TH1991C
|
TH1991B
TH1992B
|
TH1991A
TH1992A
|
TH1991
TH1992
|
±10nAb
|
—
|
100fA
|
—
|
10fA
|
±(0.10%+50pA)
|
≤2pA
|
±10.5nA
|
±100nAc
|
—
|
1pA
|
1pA
|
100fA
|
±(0.06%+100pA)
|
≤5pA
|
±105nA
|
±1uA
|
10pA
|
10pA
|
1pA
|
±(0.025%+500pA)
|
≤25pA
|
±1.05uA
|
±10uA
|
100pA
|
100pA
|
10pA
|
±(0.025%+1.5nA)
|
≤60pA
|
±10.5uA
|
±100uA
|
1nA
|
1nA
|
100pA
|
±(0.02%+25nA)
|
≤3nA
|
±105uA
|
±1mA
|
10nA
|
10nA
|
1nA
|
±(0.02%+200nA)
|
≤6nA
|
±1.05mA
|
±10mA
|
100nA
|
10nA
|
10nA
|
±(0.02%+2.5uV)
|
≤200nA
|
±10.5mA
|
±100mA
|
1uA
|
1uA
|
100nA
|
±(0.02%+20uV)
|
≤600nA
|
±105mA
|
±1A
|
10uA
|
10uA
|
1uA
|
±(0.03%+1.5mA)
|
≤70uA
|
±1.05A
|
±1.5A
|
10uA
|
10uA
|
1uA
|
±(0.05%+3.5mA)
|
≤150uA
|
±1.515A
|
±3Ad
|
—
|
—
|
100uA
|
10uA
|
±(0.4%+7mA)
|
—
|
±3.03A
|
±10Ad、e
|
—
|
—
|
100uA
|
10uA
|
±(0.4%+25mA)f
|
—
|
±10.5A
|
※注意:上標 a:補充特征
電流限值/合規性:精度與電流源相同,*小值是量程的1%,或 10nA 量程中的 1nA。
超過量程:1.5A 和 3A 量程的是源量程的 101%,其余為源量程的 105%。
電流數出穩定時間:(在短路條件下,達到*終值的 0.1%范圍所需的時間):步長為 10%至 90%量程。
10nA 和 100nA 量程:<10ms,1uA 量程:<500us
10uA 和 100uA 量程:<250us,1mA 至 3A 量程:<80us
源過沖:<±0.1%,步長大小 10%至 90%量程,電阻 負載。
電流源量程更改過沖:≤250mV/R 負載,20MHz 帶寬。
上標 b:±10nA 不適用于 TH1991A/C 和 TH1992A。
上標 c:±100nA 不適用于 TH1991C。
上標 d:±3A、±10A 不適用于 TH1991B/C 和 TH1992B。
上標 e:±10A 量程僅適用于脈沖模式,不適用于 DC 模式。
上標 f:測量速度:0.01PLC。
|
*大電壓
|
*大峰值電流
|
*大基極電流
|
*大脈沖寬度
|
*大占空比
|
DC 或脈沖
|
6V
|
3.03Aa
|
303Aa
|
DC,無限值
|
100%
|
21V
|
1.515Aa
|
1.515Aa
|
DC,無限值
|
100%
|
210V
|
0.105A
|
0.105A
|
DC,無限值
|
100%
|
僅 限脈沖
|
6V
|
10.5A
|
0.5A
|
1ms
|
2.5%
|
180V
|
10.5A
|
50mA
|
10ms
|
2.5%
|
200V
|
1.515A
|
50mA
|
2.5ms
|
2.5%
|
※注意:
上標 a:對于兩個通道,兩個通道*大總電流受限制。
脈沖寬度定義:從 10%前沿到 90%后沿的時間,如下圖所 示。
對于脈沖源始終使用固定量程進行測量。
圖 3-2脈沖寬度(10%前沿到 90%后沿)
源值
|
Limit 值
|
負載
|
源穩定(量程的%)
|
*小脈沖寬度
|
200V
|
1.5A
|
200Ω
|
0.1%
|
1ms
|
6V
|
10.5A
|
0.6Ω
|
0.1%
|
0.2ms
|
1.5V
|
200V
|
65Ω
|
0.1%
|
2.5ms
|
10.5V
|
6A
|
0.5Ω
|
0.1%
|
0.2ms
|
在給定電壓、電流合穩定條件時的*小脈沖寬度
※注意:對于上述電壓和電流條件連接了適當的電阻負載。
|
V 中*大電壓
|
A 中*大電流
|
使用通道 1(I1,V1)和使用通道 2(I2,V2)時總電流
限值
|
V 中的 V1
|
V 中的 V2
|
A 中的電流限值
|
DC 或 脈沖
|
6V
|
3.03A
|
±(0≤V1≤6)
|
±(0≤V2≤6)
|
I1+I2≤4
|
21 V
|
1.515A
|
±(6≤V2≤21)
|
I1+I2*1.6≤4
|
210 V
|
0.105A
|
±(6≤V1≤21)
|
±(0≤V2≤6)
|
I1+I2*0.625≤2.5
|
僅 限脈沖
|
6V
|
10.5A
|
±(6≤V2≤21)
|
I1+I2≤2.5
|
200 V
|
1.515A
|
|
|
|
量程值
|
電壓輸出值
|
設置分辨率
|
*大電流
|
脈沖寬度
|
TH1991C
|
TH1991BTH1992B
|
TH1991ATH1992A
|
TH1991
TH1992
|
DC 輸出
|
脈沖輸出
|
0.2V
|
0≤|V|≤0.21V
|
1uV
|
0.1uV
|
±3.03A
|
±10.5A
|
50us
≤t≤
100ks
|
2V
|
0≤|V|≤2.1V
|
10uV
|
1uV
|
20V
|
0≤|V|≤6V
|
100uV
|
10uV
|
0≤|V|≤21V
|
±1.515A
|
±1.515A
|
200V
|
0≤|V|≤6V
|
1mV
|
1mV
|
100uV
|
±3.03A
|
±3.03A
|
±10.5A
|
50us
≤t≤
1ms
|
0≤|V|≤21V
|
±1.515A
|
±1.515A
|
50us
≤t≤
100ks
|
0≤|V|≤180V
|
1mV
(0-60V)
|
1mV
|
—
|
±1.05A
|
50us
≤t≤
10ms
|
0≤|V|≤200V
|
—
|
—
|
±1.515A
|
50us
≤t≤
2.5ms
|
0≤|V|≤210V
|
—
|
±0.105A
|
—
|
—
|
表 3-6 電壓輸出量程
量程值
|
電流輸出值
|
設置分辨率
|
*大電壓
|
脈沖寬度
|
TH1991C
|
TH1991BTH1992B
|
TH1991ATH1992A
|
TH1991
TH1992
|
DC 輸出
|
脈沖輸
出
|
10nAa
|
0≤|I|≤
10.5nA
|
1pA
|
100fA
|
—
|
10fA
|
±210V
|
±210V
|
50us
≤t≤
100ks
|
100nA
|
0≤|I|≤
105nA
|
10pA
|
1pA
|
1pA
|
100fA
|
1uA
|
0≤|I|≤
1.05uA
|
100pA
|
10pA
|
10pA
|
1pA
|
10uA
|
0≤|I|≤
10.5uA
|
1nA
|
100pA
|
100pA
|
10pA
|
100uA
|
0≤|I|≤105uA
|
10nA
|
1nA
|
1nA
|
100pA
|
|
|
|
1mA
|
0≤|I|≤1.05mA
|
100nA
|
10nA
|
10nA
|
1nA
|
10mA
|
0≤|I|≤10.5mA
|
1uA
|
100nA
|
100nA
|
10nA
|
100mA
|
0≤|I|≤105mA
|
10uA
|
1uA
|
1uA
|
100nA
|
1A
|
0≤|I|≤105mA
|
100uA
|
10uA
|
10uA
|
1uA
|
±210V
|
—
|
—
|
105mA≤ |I| ≤1.05A
|
±21V
|
—
|
—
|
1.5A
|
0≤|I|≤105mA
|
100uA
|
10uA
|
±210V
|
—
|
—
|
105mA≤|I|≤1.515A
|
±21V
|
—
|
—
|
0≤|I|≤1.515A
|
—
|
±21V
|
50us
≤t≤
100ks
|
0≤|I|≤1.05Aa
|
—
|
±180V
|
50us
≤t≤
10ms
|
0≤|I|≤1.515Aa
|
—
|
±200V
|
50us
≤t≤
2.5ms
|
3A
|
0≤|I|≤105mA
|
1mA
|
100uA
|
100uA
|
10uA
|
±210V
|
—
|
—
|
105mA≤|I|≤1.515A
|
±21V
|
|
—
|
1.515A≤|I|≤3.03A
|
—
|
±6
|
—
|
—
|
10Ab
|
0≤|I|≤10.5A
|
—
|
—
|
—
|
±6V
|
50us
≤t≤
1ms
|
表 3-7 電流輸出量程
※注意:
上標 a:脈沖基地(即時)電流電平的限制為±50mA
上標 b:脈沖基地(即時)電流電平的限制為±500mA